半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
的项目蓝本
该工厂隶属于杭州省扬州市,首要专业从事高端定制半导体技术心片的封裝测试测试,日尾气排放口废排水量约200吨。考虑到生孩子环节中采用各种各样催化化剂,废气基本成分繁琐,有效高质量浓度铜、镍等高价属及其固化剂树脂胶、光刻胶等设计空气污染物质。工厂原始整理基础设施是考虑到了全新尾气排放口标,急用升到改革。
废污水材质及渠道
主轴电镀工业废水
:起出自于处理芯片引脚塑胶电镀步骤,包含的铜、镍、锡等巨资属正离子,pH值上下波动大。
有机酸生活污水
:大部分来于装封胶凝固后、光刻施工工艺,有环氧漆光敏树脂、异丙醇、二甲苯等有机肥料相转移催化剂。
强酸强碱工业废水
:生成于晶圆除垢和蚀刻繁琐流程,具有氢佛酸、氢防氧化钾、氢防氧化钠等。
治理 技艺方案
预治理 阶段性
酸性中合
:能够加量平台设定pH至6-9,避免出现事后处里专用设备腐烛。
沥青混凝土积淀
:污泥脱水PAC(整合氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),出掉悬屏物和局部巨资属。
主导处置阶段性
二级空气氧化
:进行Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)吸附难吸附充分物,COD洗去率达70%往上。
膜脱水
:反融入膜(UF)+反融入(RO)搭配组合加工制作工艺 ,继续一个脚印截流巨资属和溶解完性无机物。
程度治理 分阶段
铁离子更换
:也可以对於铜、镍阳离子,保持冒水巨资属含量降到0.5mg/L。
化学活化炭溶解
:最为结果是保障措施,清理残渣少量生产物。
决定性功效
经补救后,满水后水的质量实现《网络工业化水影响物排放物标淮》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,回收率升级至60%,年节省自来水成本费约8070万。