半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
该项目历史背景
该制造业工厂为全国前沿的光电器件测封制造业工厂,为于珠江三角形中北部,通常推行高端大气整理器的小学划片和装封测式。鉴于立即优质规定要求严格要求,制造业工厂决定了推行废水整理方法零尾气排放水利工程。创业项目于明年通电,2026年6月成立 投运,整理企业规模为200吨/日,总项目投资约2000万是。
废水处理成份及收入
这项主要目的片区废水处理更具以下的特质:
高含量氟化物,通常产自晶圆切开后的进行维护清洁制作工艺,氟正离子含量达到了150-200mg/L
富含納米级硅粉科粒,颗粒直径多在100-500nm范围内
生产负载较高,COD在500-800mg/L
含少量天价属如铅、镉等
导电率高,往往在2000-3000μS/cm
治理 生产工艺程序流程
为改变无废气排放标准最终目标,生产工艺规划侧重综合考虑废气定义采集而来和环境再生资源回收分类处理:
废水处理细分征集系统
:将含氟焦化废渣与相关焦化废渣分离获得
耐腐蚀悠长岁月中除氟
:分为二级钙盐乳浊液法,互相配合快速乳浊液池
高阶硫化外理
:臭氧老化离子液体硫化可降解难加工有机会物
膜精提系统
:选择DTRO碟管式反覆盖,果汁4的倍数为10倍
蒸馏结晶体
:MVR自动化设备液体再缩减蒸发掉器操作浓水
吹干整体
:将晶体盐变干后身为实业副好产品外售
加工功能
模式运营数据资料表现:
氟化物彻底清除率>99.9%,冒水氟正离子<1mg/L
COD总剔除率>98%,喷水COD<20mg/L
水资原收集率>95%,仅诞生大量心得盐
每一年可收售高好品质中水回用水约六万吨
凝结盐色度达标企业级标准,确保市场化凭借
活动不禁达成了废污水零排污,还能够影视再生资源回收公司开创了约80千元/年的特别利润。