该厂为89英寸晶圆生孩子线配置的超注射用水体统，天天行成含硅污水150吨。污池中虽无高价属，但硅的含量高易积灰，且热敏电阻率需符合18MΩ·cm才可以中水回用。同一除理工学艺不可满足需要新颁布实施的《電子制造业水被空气污染物尾气排放量要求》（GB39731-2020）特意尾气排放量限制值。 废水处理方法材质特殊性 主耍的固体废弃物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、顆粒硅（粒度分布0.1-1μm） 特出请求 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水环境基本特征 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅无机化合物价值形式缜密 加工处理生产技术步奏 的创新用于"梯级膜分離+电去铁离子"组合构成制作工艺： 微滤预治疗 ：1μm陶瓷制品膜屏蔽广告大颗粒剂硅，通量长期保持80LMH 铁离子互转环氧树脂 ：D201大孔聚酯树脂选用性气体吸附硅酸氧分子 二次RO系统软件 ：第一次段环保再生资源回利用率60%，第五段主要采用高脱硼膜组件 EDI电去阴离子 ：电流大小密度计算公式2A/m²，持续不断彻底清除残渣铁离子 紫外线消菌 ：254nm红外光谱线服用量40mJ/cm² 方法特色 发掘专门阻硅剂（有机肥料胺类包覆物），廷迟膜被污染的时间是3倍 EDI模块图片科学创新流道构思，硅剔除率不断提升至99.8% 一直在线硅解析仪（检测使用范围0.1-500μg/L）保持精准度把控 开机运行功效 经然后方检查： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼量从8μg/L降落到0.3μg/L 设备收购率从原40%改善至68% 膜更改的周期缩短至5年，年程序运行资金减小35%