某半导体设备清理器研制厂在晶圆制作的过程 中，运用硅烷实现硅本质生长期，排放洗涤剂塔发生高盐浓度含硅废气。废气包括pH冲击大（2-11）、硅硫含量高的特殊性，传统文化清理的办法易发生硅垢不通一些问题。 废水处理工艺组成成分及原因 工业废水注意营养成分为： 溶解出来性硅酸盐 ：SiO₂质量浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢防氧化钠 ：洗條塔碱酸洗條液杂质 颗粒剂硅 ：nm级SiO₂电解质溶液 痕量砷 ：奶茶原料悬浮物带到 除理生产技术的流程 信息化用于"多级与+膜过虑+蒸发器成果"工序： 一个与 ：用CaO的调节pH至4-5，转化硅酸钙沉淀出的，硅除去率60%。 2级采和 ：加Na₂CO₃将pH加快至9，进一歩滤渣乘余硅，串并联用镁剂除砷。 反渗透装置机系统 ：0.02μm淘瓷膜过虑纳米技术级硅颗粒物，通量增强在80LMH。 MVR蒸馏器 ：溶缩高盐废水处理工艺，凝结出Na₂SO₄副好产品，水工业废水处理率超90%。 最中的效果 总硅从1500mg/L减至5mg/L以內 砷分量从0.8mg/L减至0.01mg/L 设备无积垢运营低于2年 每人每年出售氢氧化钠钠晶状体约800吨